地下室里的激情與決心並未隨著時間流逝而冷卻,反而如同被投入爐火的干柴,在短暫的沉寂後,燃燒得愈發熾烈,散發出一種近乎偏執的光熱。
明朗勾勒出的那幅簡化版工藝藍圖,雖然清晰誘人,像一盞指路的明燈,但燈光之外的黑暗區域,卻讓在場的每一位都清晰地意識到,從紙面方案到現實產品之間,橫亙著一條名為“設備與量產”的、深不見底的巨大鴻溝。
這鴻溝需要真金白銀、需要稀缺資源、需要近乎瘋狂的執行力才能填平。
工藝路線一旦確定,所有抽象的技術難題瞬間具象化,焦點變得無比清晰且令人窒息設備,設備,還是設備!
尤其是陣列工藝中最為核心、技術壁壘最高的——那五次光刻所必需的光刻機(stepperscanner)。
它就像一位傲慢的君王,主宰著整個制造流程的生死。
空氣中彌漫著泡面與松香混合的味道,但更濃的是凝重的思考氣息。
明朗、歐陽謙、歐陽旭三人擠在那台嗡嗡作響的老舊電腦前,屏幕熒光映照著他們嚴肅的臉龐,開始一項項羅列那足以讓任何初創團隊頭皮發麻的“死亡清單”。
“光刻機是心髒,也是最難啃的骨頭,沒有之一。”
歐陽謙推了推鼻梁上滑落的眼鏡,面色凝重得仿佛能滴出水來“全新的?那是天方夜譚。目前主流用于面板制造的arf(氬氟)準分子激光光刻機,一台就要價數千萬美元,而且是對我們禁運的戰略物資。我們唯一的選擇,只能是去全球的二手設備市場‘淘金’。”
他頓了頓,努力讓語氣保持冷靜“目標是那些被日韓或中國台灣一代、二代面板廠淘汰下來的、適用于較小尺寸和更寬松制程的接觸式光刻機(ntact aligner) 或者接近式光刻機(proxia分辨率的需求了。但是……”
他加重了語氣,每一個字都像錘子敲在心上“這種老機器就像年邁的賽馬,狀態極不穩定,故障率高,維護保養是個無底洞。而且,與之配套的鉻版掩膜(ask) 制作成本高昂、周期長,每一次損耗都肉疼,套刻精度(y auracy)的控制更是噩夢級的挑戰。”
“何止是光刻機!”歐陽旭接過話頭,他的急躁此刻化作了語速極快的憂慮,手指在屏幕上那份不斷變長的清單上快速點著,仿佛要點燃那些冰冷的設備名稱“薄膜沉積設備是另一座大山!陣列工藝需要磁控濺射台(sputter)——至少需要兩台,一台用于鍍鉬鋁鉬(oalo) 柵極和源漏金屬層,另一台專用于鍍氧化銦錫(ito) 透明電極。還有pecvd(等離子體增強化學氣相沉積)設備——用于沉積關鍵的氮化 (sx)柵極絕緣層和非晶 (asi) 有源層。這些設備也必須找二手貨,而且為了提升效率和減少污染,最好能找到多腔體的集群設備(cster tool),但這又意味著價格的指數級上升!”
他幾乎喘不過氣,繼續道“刻蝕設備(etcher)!濕法刻蝕槽(et etch bath)相對簡單,用于圖形化金屬層,但干法刻蝕機(dry etcher),我們至少需要一台反應離子刻蝕(rie),用于精確刻蝕asi島和氮化 層,這玩意兒的工藝氣體(cf4, o2, sf6等)配比、射頻功率、真空度控制,每一個參數都能讓我們掉光頭發!這還不是最頭疼的,清洗設備(cleaner)!”
他幾乎喊了出來“超聲波清洗機、兆聲波清洗機(anic cleaner),每一步光刻前後、每一次沉積之前,都需要近乎變態的徹底清洗,否則一顆零點幾微米的灰塵落在基板上,未來就是一個致命的亮點或暗點(
ightdead pixel),直接宣告屏幕報廢!”
歐陽謙深吸一口氣,努力將話題拉回系統性的敘述“還有涂膠顯影設備(aterdeveloper)旋轉涂膠機(sp ater) 用來均勻涂布光刻膠,其轉速和加速度控制直接影響膠厚均勻性;顯影機要保證顯影液濃度、溫度和噴灑的均勻性,精度要求極高。最後,沒有眼楮的制造就是盲人摸象,檢測設備(y) 絕不能省高倍率光學顯微鏡、哪怕一台老舊的掃描電子顯微鏡(se) 也是必須的,用來檢查線寬(cd)、套刻精度、剖面形貌和缺陷。還得有台階儀或橢偏儀測膜厚,有探針台(probe station) 配合參數分析儀測試tft的電學特性(開關比、遷移率、閾值電壓)……否則我們根本就是在閉著眼瞎搞,連失敗的原因都找不到!”
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“我的天爺啊!這還僅僅是他媽的陣列(array)部分!”歐陽旭猛地向後一靠,用力撓著自己的頭發,仿佛想把這一切煩惱都揪出去“後面還有呢!成盒(cell)工藝需要的uv固化機用于固化封框膠、精度要求極高的真空對位貼合機(vacuu ache) 用來把tft陣列基板和彩膜(cf)基板像夾心餅干一樣精準對位壓合!模組( ache) 用來把驅動ic芯片以微米級精度壓接到玻璃基板的引腳上、熱壓機(hot press) 使導電粒子破裂形成連接、精雕機(dicer) 或激光切割機把大張玻璃切割成小片、研磨倒角機(grderbeveler) 處理切割後鋒利的玻璃邊緣……這簡直他媽的不是創業,是要在101novel.com05年的中國,憑空重建一個微電子工業的雛形!一個簡化版的‘面板富士康’!”
清單越列越長,密密麻麻的文字和數字像一座座無形的大山,壓得三人幾乎喘不過氣。
實驗室里原本燃燒的激情,仿佛被這冰冷的現實清單澆上了一盆冰水,只剩下滋滋作響的絕望白汽。
這其中的每一台設備,都不僅僅意味著一個名稱,其背後是巨量的資金投入、復雜曲折的全球尋源和采購過程、令人頭疼的海關通關、以及更令人望而生畏的安裝、調試、工藝驗證和無休止的維護。
每一關都足以讓缺乏資源和經驗的團隊折戟沉沙。
然而,在整個過程中,明朗的眼神卻始終如磐石般堅定。
他靜靜地听著,大腦飛速運轉,將兄弟二人的憂慮與自己所知的未來信息相互印證、整合。
他早已料到了這份艱難,並且,在他穿越者的視野里,已經勾勒出了一個絕佳的、跳出常規思維的解決方案。
“設備的問題,一件一件解決。清單列出來,就好辦了一半。我們可以分優先級,最先保障核心的光刻、沉積、刻蝕設備。錢,我來想辦法。”明朗的聲音沉穩有力,像定海神針般瞬間打破了地下室里略顯壓抑和絕望的氣氛“至于場地……這個最大的難題,我已經想好了。”
他站起身,走到那扇唯一的、布滿灰塵的小窗前,目光仿佛穿透了校園厚重的圍牆和喧囂的城市,投向了記憶中的遠方——江州國際聯合化工廠那片熟悉的廣袤廠區。
“江州國際聯合化工,”他轉過身,語氣帶著一種不容置疑的確定性“三號倉庫區,那邊有現成的、至少兩千平米挑高超過八米的大型空置倉庫。地面是加固的混凝土,承重完全沒有問題。面積對于我們這條試驗兼中小尺寸量產線,綽綽有余。”
他頓了頓,拋出了最關鍵的優勢“最重要的是,化工廠本身就有極其穩定的雙回路工業供電系統,足以應對精密設備對電壓波動的苛刻要求;它自身還擁有成熟的工業級超純水(u)制備系統,水質遠超我們電子級清洗的要求,只需要進行末端再精處理即可!這對于我們來說,簡直是得天獨厚、省下天文數字基礎投資的寶藏!我們只需要進行內部隔斷和高級別的裝修,搭建起css (萬級) 甚至關鍵區域達到css 1000(千級) 的無塵車間(clean roo),配套ffu(風機過濾單元) 和溫濕度控制系統,就能滿足要求。而且,就在化工廠區內,氮氣、氧氣、氬氣等大宗氣體以及特種化學品的采購、儲存、安全管理和廢液處理,都可以依托化工廠現成的體系和資質,比我們單獨去申請要方便、快速、安全得多!”
歐陽兄弟張大了嘴巴,再次被明朗這天馬行空卻又無比精準、切中要害的想法震驚得說不出話來。
利用大型化工廠的倉庫和現成基礎設施?
這簡直是神來之筆!
堪稱絕妙的戰略迂回!
這不僅瞬間解決了令人絕望的場地和基礎配套問題,更是在資源利用上做到了極致,將他們的創業成本壓縮到了一個難以置信的程度。
希望的火焰,再次在他們眼中猛烈地燃燒起來,而且比之前更加熾熱、更加堅定。
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