一款光刻膠,要想真正從“實驗室的寵兒”蛻變為能夠支撐整個國家
半導體產業自主崛起的工業脊梁,
它還必須經歷一個更嚴酷、也更具說服力的考驗——
那就是,在非啟明芯體系的、真正意義上的第三方商業晶圓廠大規模生產線上,進行全面的、不打任何折扣的上線驗證!
用實實在在的、可重復的、具有統計學意義的量產數據,來向全世界證明,我們的神農光刻膠,
不僅僅是能用,更是好用,甚至比進口的還要耐用!
這,才是“神農光刻膠sp28”真正的“生死考驗”!
也是它作為戰略備胎,能否成功轉正,並最終成長為華夏半導體產業鏈定海神針的——初始之戰!
林軒為此,親自選定了第一個試煉場和戰略同盟軍——
華夏大陸規模最大、工藝也相對最先進的芯片代工企業<ic的平行世界加強版)。
華芯國際,作為華夏半導體產業的“國家隊”成員之一,近年來雖然也在努力追趕國際先進水平,
但在核心的28納米及以下邏輯芯片制造工藝上,同樣長期受困于國外高端光刻膠的卡脖子之痛。<國供應商那高昂到離譜的采購價格,更常常面臨“有錢也買不到貨”或“只能買到技術降級版”的屈辱境地。
對于啟明芯“神農光刻膠”的橫空出世,華芯國際的最高管理層,在最初的震驚和難以置信之後,
便立刻敏銳地意識到,這,或許是他們擺脫困境、實現供應鏈自主的——天賜良機!
在林軒通過國家半導體全產業鏈自主化領導小組的渠道,
向華芯國際董事長兼ceo張汝發出“共同推進國產高端光刻膠產業化應用”的戰略合作邀請後,雙方幾乎是一拍即合!
“林總!顧博士!”
在一次于京城舉行的、由國家工信部和科技部領導共同見證的閉門簽約儀式上,
張汝緊緊握住林軒和顧維鈞的手,聲音因為激動而微微顫抖,
“我代表華芯國際,感謝啟明芯為我們華夏半導體產業做出的巨大貢獻!
我們華芯國際,願意成為‘神農光刻膠’的第一個‘商業用戶’和最堅定的戰略伙伴!
我們願意拿出我們最先進的28納米生產線,與啟明芯和聯合實驗室的專家們一起,共同對‘神農光刻膠sp28’進行最嚴苛、最全面的上線驗證!
我相信,我們一定能夠攜手,創造出屬于我們華夏自己的‘光刻奇跡’!”
一場由啟明芯提供核心技術與光刻膠樣品、華芯國際提供量產驗證平台與工藝環境、
並由雙方頂尖技術團隊深度參與的、“神農光刻膠sp28”小批量產線驗證攻堅戰,
在華芯國際位于滬上最先進的12英寸晶圓廠內,正式打響!
最初的幾輪上線測試,過程並不像在啟明芯內部研發線上那般順利。
畢竟,華芯國際的生產設備型號、工藝參數設置、以及產線環境的控制標準,都與啟明芯自有的研發線存在著細微的差異。
這些看似微不足道的差異,在光刻這種“失之毫厘謬以千里”的精密工藝中,
都可能導致最終成像結果的巨大偏差。
“神農光刻膠sp28”在華芯國際的產線上,一度也出現了諸如與特定底層抗反射膜的附著力不佳、
顯影後的圖形側壁陡峭度略有下降、以及在某些關鍵圖形的套刻精度上出現微小漂移等“水土不服”的問題。
華芯國際內部,也一度出現了一些對國產光刻膠的質疑和擔憂之聲。
但顧維鈞和他帶領的啟明芯技術團隊,並沒有因此而氣餒。
他們與華芯國際的工程師們一起,吃住在產線上,針對每一個出現的問題,都進行了最細致、最深入的根源分析。
“伏羲”ai超算平台,再次成為了他們手中最強大的“秘密武器”!它通過對華芯國際產線實時采集的海量數據與光刻膠的化學組分參數、
以及最終圖形的缺陷數據進行超高維度的深度關聯建模,
以一種近乎“先知”般的能力,精準地找出了導致問題的關鍵工藝節點,
並給出了一系列針對華芯國際特定產線環境的、“神農光刻膠sp28”定制化工藝優化建議!
比如,針對附著力問題,“伏羲”建議在光刻膠涂覆前,對晶圓表面增加一道極其短暫的、特定能量的等離子體預處理工序。
針對圖形側壁陡峭度下降的問題,“伏羲”則建議略微調整光刻膠的後烘溫度曲線,
並優化顯影液的濃度和顯影時間。
這些由ai給出的、看似“反直覺”但又“邏輯自洽”的優化方案,
在經過華芯國際工程師們的審慎評估和上線驗證後,
每一次,都帶來了令人驚喜的改善效果!
在經歷了長達數周、數十輪艱苦卓絕的“人機協同”工藝調試與配方微調之後,
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奇跡,終于再次降臨!最新一批采用“神農光刻膠sp28 v10.8.5華芯特調版”的
華芯國際28納米邏輯芯片測試晶圓,在經歷了完整的曝光、顯影、刻蝕、清洗等所有核心工藝步驟後,
其最終的電學性能測試結果顯示——
所有核心指標,包括晶體管的驅動電流、漏電流、開關速度、
以及金屬互聯線的導通率和電阻率,均完美達到了設計要求!其關鍵尺寸均勻性cdu)和缺陷密度,
與之前采用最頂級的進口東瀛光刻膠時,幾乎沒有任何差異!
甚至,在某些對工藝窗口要求極高的復雜圖形區域,“神農光刻膠sp28”的表現,還要更加穩定和優異!
當這份由華芯國際和啟明芯雙方共同簽字確認的、凝聚了無數人心血與智慧的、堪稱“歷史性”的測試報告,
擺在張汝和林軒面前時,兩位分別代表著華夏芯片制造和芯片設計最高水平的企業家,
都忍不住激動地站起身,緊緊地握手,眼中閃爍著英雄相惜的淚光!
“成功了!我們華夏自己的高端光刻膠,終于……真正地,在我們自己的大規模生產線上,站穩了腳跟!”
張汝的聲音因為激動而微微顫抖。
“神農光刻膠sp28”,這顆承載著華夏半導體材料自主希望的“備胎”,
在經歷了最嚴酷的“生死考驗”之後,終于發出了它響徹雲霄的——第一聲“啼哭”!
這聲“啼哭”,不僅僅宣告了一款世界級國產高端光刻膠的誕生,
更像是一聲嘹亮的號角,宣告著在啟明芯“星塵補天計劃”的引領下,
一個由華夏自主掌控的、欣欣向榮的半導體上游產業鏈生態系統,正在加速崛起!
那些曾經試圖用卡脖子來扼殺華夏科技進步的國際寡頭們,他們的“好日子”,恐怕真的要到頭了!
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