“神農光刻膠sp28”配方中,那幾種由林軒“點撥”、
並經“伏羲”ai優化篩選出來的、具有獨特分子結構的含氟聚合物單體和高效光致產酸劑pag),在實驗室小批量合成時,
尚可通過多級精餾、柱層析等高成本、低效率的手段來保證其超高純度。
但一旦要進行公斤級、百公斤級甚至噸級的工業化放大生產,這些實驗室方法便完全不敷使用!
而國際上能夠穩定供應這種級別、這種純度核心化工單體的供應商,幾乎全部集中在東瀛和國的少數幾家寡頭手中!
在啟明芯高調宣布光刻膠取得實驗室突破之後,這些寡頭們,早已在國政府的暗示和同行的默契之下,
對啟明芯和華夏大陸,關上了最後一扇友好合作的大門!
他們要麼直接拒絕供貨,要麼開出令人咋舌的天價,要麼就以各種技術升級、“能不足為由,無限期拖延!
“想用我們的米,來煮你們的飯?做夢!”
這是東瀛某化工巨頭一位高管在私下里對媒體放出的狂言。
面對這種赤裸裸的釜底抽薪,顧維鈞和他的團隊一度也感到了巨大的壓力。
然而,林軒對此,卻早有準備!“星塵補天計劃,從一開始,就不是單點突破,而是全鏈布局!”
林軒在一次緊急召開的光刻膠產業鏈自主化推進會上,對著sia部門負責人理查德•劉和負責新材料研發的顧維鈞,以及幾位從華夏科學院化學所請來的頂級化學工程專家,
以不容置疑的語氣下達了指令︰
“立刻啟動‘星塵計劃’內部代號為‘夸父逐日•精衛填海’的專項行動!”
“sia部門,利用我們之前在全球範圍內秘密投資和控股的那些
歐羅巴、東瀛非主流的特種化學品公司和研究機構,
不惜一切代價,也要為我們打通幾條關鍵光刻膠單體和pag前驅體的
海外秘密補給線!哪怕成本高一點,也在所不惜!這是應急之策!”
“同時,顧工,我需要你和華科院的專家們,
立刻將‘神農光刻膠sp28’核心組分的國產化自主合成與超高純度提純工藝,
列為最高優先級的攻關任務!啟明芯將向你們提供不設上限的研發經費,
並調動‘伏羲’ai超算平台的所有空余算力,
為你們進行從反應路徑優化、催化劑篩選、到分離提純工藝參數模擬的全流程支持!
我要在半年之內,看到我們自己生產的、純度達到99.9999以上的光刻膠核心單體!”
林軒的雷霆手段,再次展現了他那料敵于先、有備無患的戰略遠見!
那些試圖通過原材料封鎖來扼殺國產光刻膠的國際巨頭們,很快就驚恐地發現,
啟明芯這條泥鰍,滑不留手,總能在他們布下的天羅地網中,找到意想不到的生路!
第二道難關︰中試生產線的“魔鬼工藝”!
在林軒的強力推動和國家大基金的鼎力支持下,
一座專門用于高端光刻膠中試生產與工藝驗證的、
擁有世界一流設備和超高潔淨度生產環境的神農光刻材料中試基地,
以驚人的啟明芯速度,在華夏東部浙城沿海化工產業園區,拔地而起!
然而,將實驗室的克級配方,放大到中試產線的“公斤級”甚至“百公斤級”生產,
其間需要克服的工程技術難題,遠超所有人的想象!
光刻膠的生產,對環境的潔淨度、溫度、濕度、甚至光照條件,
都有著近乎變態的嚴苛要求。任何一點微小的污染或工藝參數波動,
都可能導致整批產品的報廢。
“這哪里是生產光刻膠,這分明是在用繡花針雕刻原子彈啊!”
一位從中試基地被“折磨”得幾乎脫了一層皮的年輕工程師,私下里如此吐槽。
但顧維鈞和他帶領的“中試突擊隊”,卻展現出了“鐵軍”般的意志和智慧。
他們與“伏羲”ai團隊緊密配合,將中試產線的每一個反應釜、
每一根管道、每一個過濾器、每一台檢測儀器,都連接到ai的神經網絡之中。
“伏羲”ai如同一個擁有“千里眼”和“順風耳”的“超級工段長”,
實時監控著生產過程中的每一個細微變化,一旦發現任何潛在的風險或異常,便會立刻發出預警,並給出針對性的調整建議。
經過數個月艱苦卓絕的“人機協同”鏖戰,在報廢了數十批、價值數千萬人民幣的實驗樣品之後,
“神農光刻膠sp28”的工業化生產工藝流程,終于被成功打通!
其批次穩定性、核心性能指標、以及最重要的——生產成本,都達到了可以接受的商業化水平!
第三道,也是最嚴苛的難關︰晶圓廠產線驗證的“生死狀”!
公元2013年仲夏,第一批由“神農光刻材料中試基地”穩定生產出來的、質量完全達標的“神農光刻膠sp28”工業級樣品,
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在啟明芯特種安保團隊的全程押運下,如同最重要的“戰略核武器”一般,被秘密送往了廬州“神農1號”超級晶圓廠,
以及啟明芯在深川的中央研究院最先進的12英寸工藝研發線!
它們,即將在這里,接受最嚴酷、也最公正的“生死考驗”!
林軒親自坐鎮深川,與阪本健一、孫振南、顧維鈞、李志遠等核心技術巨頭一起,
共同組織和指揮了這場針對“神農光刻膠sp28”的、堪稱集團軍級別的產線驗證大會戰!
測試的目標,不僅僅是28納米,更是直接瞄準了啟明芯下一代“天樞三號”soc芯片中,那些對線寬控制、圖形保真度和缺陷密度要求最為變態的
14納米甚至10納米關鍵邏輯層和高密度互聯層!
最初的幾次上線試流片,結果並不盡如人意。
雖然神農光刻膠sp28在實驗室的28納米圖形驗證中表現完美,
但在真實的、高強度、快節奏的12英寸晶圓廠大規模生產環境下,
在與各種不同型號的光刻機、不同的涂膠顯影設備、不同的刻蝕工藝流程進行匹配時,
還是暴露出了諸如與特定底層抗反射膜的兼容性不佳、顯影後的圖形側壁陡峭度略有不足、以及在某些極端曝光條件下容易產生“微橋連”或“斷線”等細微的工藝缺陷。
每一次失敗,都意味著巨額的研發投入付諸東流。
實驗室內的氣氛,也一度因此而變得有些壓抑和焦灼。
但林軒的臉上,卻始終保持著一種近乎“冷酷”的平靜。
他知道,這,正是國產核心材料從“實驗室”走向“戰場”的必經之路!
沒有任何捷徑可走!唯有——正視問題,解決問題,不斷迭代,不斷超越!
“伏羲!啟動最高級別‘光刻工藝缺陷根源智能診斷與配方反向優化’算法!”
林軒直接向ai平台下達了指令!
在接下來的數周時間內,“伏羲”ai超算集群幾乎火力全開!
它將每一次失敗晶圓的數百萬個缺陷數據點、對應的光刻膠批次所有微量化學組分參數、
以及產線上數百個光刻與刻蝕工藝步驟的所有實時環境與設備數據,
進行前所未有的、超高維度的深度關聯分析和多目標優化建模!
在“伏羲”ai那近乎“上帝視角”般的精準指引下,顧維鈞和他帶領的光刻膠研發團隊,
如同最精湛的外科醫生,對“神農光刻膠sp28”的配方,又進行了十余次針對性的、細致入微的“微創手術”式優化調整。
終于,在一個注定要被載入華夏半導體史冊的、風雨交加的夜晚!
當最新一批采用“神農光刻膠sp28 v10.8終極優化版”的“天樞三號”14納米關鍵層測試晶圓,在經歷了完整的曝光、刻蝕、清洗等所有工序後,<)和關鍵尺寸掃描電鏡cdse)進行檢測時——
屏幕上,呈現出的,是教科書般完美的、線寬精準控制在14納米、
側壁陡峭度接近90度、線邊緣粗糙度er)小于1.5納米、
且在整個12英寸晶圓範圍內幾乎零缺陷的——納米級電路森林!
其各項核心性能指標,不僅全面達到了、甚至在某些關鍵參數上
顯著超越了之前啟明芯高價從東瀛jsr和信越化學進口的、作為對照基準的、最頂級的商用arf浸沒式光刻膠!
當這份凝聚了無數人心血與智慧的、堪稱“奇跡”的測試報告,
擺在林軒、顧維鈞、阪本健一、孫振南等所有核心決策者面前時,整個“星圖室”內,爆發出了一陣經久不息的、雷鳴般的掌聲!
顧維鈞這位年過半百、一向以沉穩內斂著稱的老將,此刻也再也無法抑制內心的激動,虎目含淚,聲音哽咽!
國產高端光刻膠,在經歷了無數次“生死考驗”之後,終于……鳳凰涅盤,浴火重生!
“星塵補天計劃”的“一號工程”,取得了決定性的、偉大的勝利!
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