“很好，能量均勻性達到了95，已經超過預期。”許志遠點了點頭，臉上浮現出一絲滿意的笑容。
接下來，他需要解決光源的能量穩定性問題。他從材料堆中取出一塊特制的能量調節模塊，安裝在激光器的輸出端口上。這個模塊能實時監控光束的能量變化，並自動進行調整，確保輸出光束始終保持在設定範圍內。
“光源系統，完成第一階段。”許志遠合上激光器的蓋板，目光中透著一抹堅定。
第二步︰光學投影系統的制造
光學投影系統是光刻機的核心之一，它的作用是將掩模版上的電路圖案精準地投影到 片上。而這一過程對鏡頭的精度要求極高，鏡片需要達到亞納米級的加工精度，才能確保投影的清晰度和精準度。
許志遠走到小世界的一台精密加工設備前。機器的外觀像是一台放大版的車床，但它的內部卻裝備了世界頂尖的光學加工技術。
“系統，加載鏡片加工程序。”他輸入指令，設備立刻開始運轉。
一塊直徑50厘米的光學玻璃被裝載到設備中，許志遠親手調試了加工參數。這塊玻璃將被打磨成一塊具有多層鍍膜的反射鏡，每一層鍍膜的厚度都必須精確到納米級。
加工過程中，他的目光始終緊盯著屏幕上的參數變化，手指不時在控制面板上輕輕敲擊，實時調整加工進度。
幾個小時後，第一塊鏡片加工完成。許志遠將鏡片取下，放在光學檢測儀下仔細檢查。
“表面光滑度達到了0.2納米，反射率接近理論極限。”他嘴角微揚，將鏡片放入光學系統的框架中。
接下來，他需要加工更多的鏡片，並將它們組裝成一個多層反射鏡組。這個過程極為復雜，但許志遠的動作始終流暢而穩健，仿佛這是一場早已演練過無數次的操作。
第三步︰步進掃描平台的設計
光刻機的步進掃描平台負責移動 片，並確保 片的位置誤差不超過1納米。這需要極高的機械精度和控制精度。
“機械精度和控制精度……這才是最考驗人的地方。”許志遠摸了摸下巴，目光落在一堆高強度金屬材料上。
他先用數控機床加工出平台的框架，再安裝上高精度的導軌和伺服電機。為了提高平台的穩定性，他在機床上將導軌的表面打磨到鏡面光滑，並采用特殊的減震材料對框架進行加固。
隨後，他開始調試伺服控制系統。這套系統由系統提供的算法支持，可以實時校正平台的運動軌跡，確保 片在掃描過程中始終保持在設定的軌道上。
“系統，運行控制模擬。”許志遠輸入指令，平台立刻開始運轉。
屏幕上顯示出平台的運動軌跡，誤差範圍始終保持在0.5納米以內。
“不錯，這個精度已經足夠了。”他滿意地點了點頭。
第四步︰掩模版與光刻膠的研發
掩模版是光刻機的“模具”，它決定了芯片電路的具體形狀和尺寸。許志遠從材料堆中取出一塊特制的金屬板，開始在上面刻蝕電路圖案。
他使用的是系統提供的高精度刻蝕設備，這台設備能夠在金屬表面刻出精確到納米級的圖案。
“完成！”當第一塊掩模版刻蝕完成時，許志遠長舒了一口氣，將它放入光學系統中進行測試。
接下來，他需要研發一種新型的光刻膠。這種材料必須對光線高度敏感，同時具備良好的化學穩定性。
“光刻膠……”許志遠走到實驗台前，開始調配化學試劑。他根據系統提供的配方，精確地稱量每一種成分，將它們混合在一起。
“反應完成，實驗光刻膠生成。”許志遠將一滴光刻膠涂在 片上，放入光刻機中進行測試。
許志遠在小世界中埋頭苦干，時間仿佛凝固了一般。他的動作越來越快，思路越來越清晰，每一個步驟都精準無誤。
當最後一顆螺絲擰上時，他站在光刻機的面前，嘴角浮現出一抹笑意。
“光刻機，一號樣機，完成！”他輕輕擦了擦額頭的汗水，目光中閃過一抹自信。
“接下來，就讓那些人見識一下，什麼叫真正的技術實力。”
……
自從上次會後，許志遠帶著材料回到軋鋼廠的技術實驗室，便像人間蒸發了一般。
實驗室門從早到晚緊閉，他也幾乎不再露面。
軋鋼廠的技術科員們起初還以為許志遠要大干一場，整天圍著實驗室門口竊竊私語，等著看他搞出什麼“動靜”。
可是等了兩天、三天……甚至一個星期過去了，實驗室里卻始終安安靜靜，連台機器的轟鳴聲都沒听到。
“你們說，許志遠到底在搞什麼名堂？”食堂里，幾個技術科員圍在一張桌子旁，端著飯碗小聲議論。
“還能搞啥？”一個年輕的小王撇了撇嘴，壓低聲音說道，
“依我看，他就是慫了！搞光刻機？那可是世界級的技術難題，他估計現在被嚇住了，連怎麼開始都不知道吧！”
老李放下筷子，皺著眉頭嘀咕道︰“話也不能這麼說，志遠這人以前干過不少大事，數控機床、汽車發動機……哪個不是他說干就干成了的？這次雖然難，但也不至于一點動作都沒有吧？”
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“這光刻機可不是數控機床，也不是汽車發動機，那些東西頂多是國內技術的突破，可光刻機是國際尖端技術啊！
國外那些資本主義國家投了幾十年、耗費無數資源才搞出個雛形來，他一個人能干成？別開玩笑了！”
“我看啊，”年輕的小王接過話茬，一副看透一切的樣子，“他八成是在實驗室里瞎琢磨，心里早就慌了。說不定過幾天就出來承認失敗了！”
“等著看吧。”有人低聲笑道，“這次，他可是把話放出去了，光刻機搞不成，他自己的臉往哪擱？”
幾個人互相對視一眼，忍不住輕笑出聲。
……
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