第一階段︰技術預研與團隊組建
許志遠首先意識到，光刻機的研發需要一支專業的團隊，而目前研究所內的技術人員雖然有一定基礎，但對于這麼高精尖的設備，仍然顯得經驗不足。
他決定從以下幾個方向入手︰
從全國範圍內篩選頂尖的光學、機械、材料學、控制工程領域的專家。
組建跨學科研發小組，分工明確，包括光源研發組、光學系統組、掩模版設計組、機械控制組、化學處理組等。
邀請高校的科研力量參與，例如龍國科學院、清華大學等頂尖學府中的專家教授。
“一個人再聰明，也搞不定光刻機這種技術怪獸。”許志遠心里明白，團隊協作是關鍵。
第二階段︰光刻機的核心技術攻關
根據系統提供的資料，許志遠將光刻機的關鍵技術分為以下幾個模塊，並提出了每個模塊的攻關目標︰
光源系統︰
使用193納米深紫外duv）光源作為第一代光刻機的核心光源。
攻克高功率激光器的設計難點，確保光源的穩定性和高能量輸出。
高效率的光束整形系統，保證光線均勻分布。
光學投影系統︰
引進超高精度的光學鏡片，要求達到亞納米級的加工精度。
研發多層反射鏡技術，提高光線的利用率和成像精度。
機械控制系統︰
設計高精度的步進掃描平台，確保 片移動誤差低于1納米。
開發全新的伺服控制系統，實現實時動態校準。
掩模版與化學處理︰
制造高精度的掩模版，確保芯片電路圖案的完整性。
研發新型光刻膠和蝕刻液，保證圖案轉移的清晰度和穩定性。
第三階段︰樣機制造與測試
樣機設計︰基于攻克的核心技術，設計並制造第一代光刻機原型機。
片加工測試︰通過樣機對 片進行光刻測試，評估電路刻蝕的精度和良率。
優化迭代︰根據測試結果，不斷優化光源、鏡片、掩模版等核心部件，提升設備的性能和穩定性。
第四階段︰量產與工業化推廣
量產計劃︰在第一代光刻機樣機通過測試後，制定量產計劃，確保設備能夠滿足龍國工業化需求。
技術封裝︰對核心技術進行加密，防止國外勢力竊取技術成果。
人才培養︰通過研發過程，培養一批掌握光刻機技術的人才，為下一代設備研發奠定基礎。
許志遠看著自己寫滿了三大張紙的研發計劃，心中滿是斗志。他深知光刻機的研發道路注定坎坷，但他也清楚，這條路一旦踏上，等待他的將是前所未有的成就。
“90納米制程工藝雖然不是頂尖，但它是我們追趕世界的一步！”許志遠喃喃自語，眼神堅定。
……
許志遠在工業部的會議室里，面對著幾十位官員和技術專家，鄭重其事地將光刻機研發的提案擺在了桌上。
他的語氣堅定，眼神中滿是對未來的渴望︰“同志們，光刻機的研發是我們的當務之急！它不僅是芯片制造的核心設備，更是未來工業化、現代化的基石。如果我們現在不開始研發，將永遠受制于人！”
話音剛落，會議室陷入了一陣短暫的沉默，隨後爆發出低低的議論聲。
許多官員和技術人員面面相覷，表情各異。有的滿臉疑惑，有的則眉頭緊鎖，顯然對許志遠的提案感到難以理解。
很快，一名穿著灰色中山裝的老官員站了起來，語氣里帶著些許不滿︰
“許志遠同志，我能不能問一句——你說的這個‘光刻機’，到底是個什麼東西？
你剛才提到的什麼芯片、集成電路，我听著就像是天書。
咱們現在這工業化剛起步，連機床、拖拉機都造不利索，你搞這個高科技的玩意兒，是不是有點太超前了？”
另一個官員也跟著點頭附和︰“老李說得沒錯！
我們現在的重點是解決基本民生問題，能吃飽飯、有衣穿、能用上簡單的工業設備，這才是頭等大事。
許志遠同志，你這個提案，說得好听是挺先進，可咱們國家現在的生產力……你覺得有這個能力折騰這些東西嗎？”
這話一出，會議室里不少人都低聲議論起來，不少人眼神里帶著疑惑和不信任。
坐在角落里的外貿部副部長張國輝推了推眼鏡，冷笑了一聲︰
“許志遠同志，我不是打擊你，但你這個提案確實有點離譜了。
你知道光刻機研發需要多少資金嗎？需要多少資源？
據我所知，國外那些資本主義國家為了搞芯片，每年投入的經費高達數億美元！
我們現在外匯儲備都捉襟見肘，工業體系還在摸索階段，哪有這個余力去搞這些‘高精尖’的東西？”
他頓了頓，語氣變得更加尖刻︰“更何況，我听說過芯片這種東西。
沒錯，它在一些高精密領域可能確實有用，但那是資本主義國家的玩意兒，咱們有必要跟著人家屁股後頭學嗎？
咱們現在的拖拉機、機床技術都還差得遠，直接跨到這一步，太不切實際了吧！”
這時候，一名輕工業部的年輕干部也忍不住發言了︰
“我也同意張部長的看法。許志遠同志，我完全理解你想為國家做貢獻的心情，但你可能沒有意識到，咱們國家現在連最基礎的工業設備都不能完全自主生產。
你知道嗎？就拿我們輕工業來說，一台縫紉機的零件都需要從國外進口。
我們連這些最基本的東西都搞不好，怎麼可能去搞什麼光刻機？”
旁邊的幾位專家也開始低聲討論起來，其中一位年紀較長的技術專家忍不住站了起來，語氣中帶著一絲無奈︰
“許志遠同志，你是搞技術的，我們都知道你厲害。
但你剛才說的什麼‘芯片’、‘光刻機’，實在是太抽象了。
你也知道，咱們現在的工業基礎還很薄弱，連高精度的機床都做不出來，別說芯片了。再說了，就算我們搞出來了，這東西能干嘛？
在戰場上能用？能造武器？能幫農民增加糧食產量嗎？”
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