劉焱當初投資研發光刻機，本來就沒想過依靠它盈利，量產型號的光刻機，對外售價只有百萬人民
這個價格只有國外同類產品的三分之一左右，可謂是物美價
可惜這年月，內地的晶圓工廠大多不成氣候，後續訂單就算有，也不會有太
好在維創電子公司自己就有晶圓工廠，且盈利豐厚，只要自產光刻機能完美替代進口產品，且能跟隨摩爾定律不斷升級進化，花再多的研發資金也是值
表彰大會之後，劉焱召集全體光刻機研發室實驗室成員，召開了一個研討會，對下一步的研發計劃和研發方向進行了部
在研討會上，劉焱代表維創電子公司率先發言，說道︰
“一微米光刻機已經研發成功，並定型量產，在座的諸位功不可
但這一切都已經是過去式，接下來，咱們要在一微米光刻機的基礎上，再接再厲，研發0.5微米制程的光刻
我代表維創電子公司表個態，不管研發過程中遭遇怎樣的困難，需要投入幾億，十幾億，甚至幾十億的研發資金，我們維創電子也在所不
接下來，有請廉教授就下一代光刻機研發計劃，做一下總體規”
廉安平教授拿出一份手寫的稿子，清了清嗓子說道︰
“當初劉老板提供的光刻機研發資料中，有一份0.5微米光刻機研發概要，點明了幾個研發要點，包括光源，透鏡系統，雙工台，掩模台等
其中雙工台、掩膜台、控制系統、晶圓傳輸系統，可以通過一微米光刻機的相關部件進行升級改造達成，難度不是太
但為了達到0.5微米的加工精度，光源系統和透鏡系統需要重新設計，重新打造，這個難度不是一般的”
烏光輝跟著發言道︰
“我是搞激光技術出身，在光刻機光源方面有一定研光刻分辨率想要達到0.5微米，光源波長需要達到365n以下，且對光源強度和均勻度都有非常嚴格的要咱們在一微米光刻機上使用的高壓汞燈，理論上其極限能達微米的加工精度，但需要對其結構進行徹底的改造，且越是接近極限，越難以達
而被業界普遍認定是下一代光刻機光源的krf氟化氪）準分子激光，光源波長為248n，可以使最小工藝節點提升至350180n水當今世界上，很多激光相關的研究所，都在對準分子激光進行研發，進度參差不齊，達到實用水平的，一個都沒
我的建議是，在光刻機光源方面，兩種線路同時研發，哪個率先取得突破，下一代0.5微米光刻機上，就使用哪一種光”
一位光學方面的專家發言道︰
“光源波長越短，傳播過程中越容易被透鏡吸下一代0.5微米光刻機，如果依舊使用高壓汞燈當光源，使用現在的透鏡組合就足夠了，頂多加工精度再提高一
如果使用準分子激光做光源，透鏡系統就需要推倒重做，組合里至少增加兩枚玻璃透鏡，參數也要重新設計，還有鍍膜材質也要重新開
這方面研究需要盡快提上日程，如果開發新透鏡組合，需要的計算量非常的大，使用普通計算機計算，需要的時間會非常長，我建議咱們使用ar1芯片，組裝一台超級計算機出”
一位深鎮大學教計算機的教授，推了推眼鏡出聲道︰
“超級計算機確實是個好東西，咱們很多研發中的項目涉及到大量數據計算和模擬測試，如果咱們實驗室有一台超級計算機，可以把研發速度提高很<1芯片，是世界上第一款精簡指令集芯片，以10萬晶體管數量，提供了遠超80286芯片的性能，在功耗上，也只有後者的三分之一左右，是制作超級計算機的最優芯
只是超算並不是單純的堆疊芯片，還涉及到並行計算、指令分發、數據交互、大量數據存儲、高效率散熱等等技術，咱們這邊根本沒有相關人才，想要自己研發超級計算機難上加”
接下來，光刻機研發小組的成員，各抒己見，給下一代0.5微米光刻機的研發，提供了很多的好思
最後，劉焱做了總結發言，說道︰
“大家說的很好，0.5微米光刻機的研發工作就拜托大家我們維創電子公司會先期投資10億，作為研發資金，如果需要某些先進設備，或稀有原材料，打報告上來，我會想辦法，從國外采
超級計算機的事情先不要著急，據我所知，gfkj大學計算機研究所目前正在進行國內第一台巨型機的研發，咱們可以跟那邊聯系一下，將咱們的ar1芯片提供過去，看看雙方能不能達成合
另外芯片生產線上除了已經被咱們攻克的光刻機，還有刻蝕機，清洗機，離子注入機，單晶爐，晶圓劃片機等等設備，這些都需要咱們去光產
這些設備只靠維創電子公司、深鎮大學、和z科院，三家的科研力量進行研發，還是力有未咱們還需要聯系一些國內相關的科研院所和工廠，進行合作研”
會議過後，劉焱通過中科院的關系，聯系上了gfkj大學計算機研究所，了解了一下即將研發完成的“yh1號”巨型計算
這才知道八十年代的超算和後世的超算，完全不是一種東
就拿“yh1號”來說，它仿制于米國的cray1巨型計算機，使用的計算芯片並不是80286、ar1這類大規模集成電路芯片，而是數十萬顆普通集成電路芯具體構造也不是後世的大規模並行處理結構，而是老舊的向量
而且yh1號的計算能力只有每秒1億次多一點，還不如後世的一枚普通手機芯片，性能著實有即使如此，劉焱還是花上千萬港幣，訂購了一台yh1號巨型機，用于輔助光刻機研